Sensofar白光干涉光学轮廓仪的测量精度

Sensofar白光干涉光学轮廓仪的测量精度白光干涉光学轮廓仪的测量精度是其在表面形貌测量中受到关注的重要因素。这种仪器通常能够提供纳米级的纵向分辨率，适用于从粗糙到超光滑表面的多种测量任务。Sensofar S neox 光学轮廓仪的白光干涉模式在系统噪声方面表现出较低的水平，根据不同物镜配置，系统噪声可低至数纳米。

在纵向测量方面，Sensofar S neox 光学轮廓仪的Z轴性能提供了两种模式：普通模式和精细模式。普通模式采用线性导轨，行程为40毫米，精度为5纳米；精细模式配备电容传感器的压电陶瓷晶体Z轴，行程为200微米，精度为1.25纳米。这种设计使仪器能够适应不同范围的纵向测量需求。

横向分辨率取决于物镜的数值孔径和放大倍率。Sensofar S neox 光学轮廓仪提供多种物镜选择，从5X到150X，覆盖不同的视场范围和像素分辨率。例如，在100X BF物镜下，像素分辨率可达0.07微米，光学分辨率为0.16微米。这种多物镜设计使仪器能够平衡测量范围和分辨率的需求。

白光干涉光学轮廓仪的精度还受到环境因素的影响，如温度波动和机械振动。Sensofar S neox 光学轮廓仪采用了全封闭光路设计和恒温控制系统，有助于减少这些因素对测量精度的影响。此外，仪器的扫描头内无运动部件，降低了振动引起的误差。

在干涉模式下，Sensofar S neox 光学轮廓仪的系统噪声为PSI / ePSI 0.1纳米（使用PZT时可达0.01纳米）或CSI 1纳米。这种低噪声水平有助于提高测量结果的重复性和准确性。仪器还配备了智能噪音检测功能，能够识别并消除不可靠的数据像素，进一步提高数据质量。

为了确保测量结果的可追溯性，Sensofar S neox 光学轮廓仪使用符合ISO 25178标准的可追溯标准进行校准。这包括纵向精度、横向尺寸、平面度误差以及偏心度等参数的校准。定期校准有助于维持仪器的长期测量精度。

在实际应用中，白光干涉光学轮廓仪的测量精度也受到样品表面特性的影响。例如，对于透明材料或多层薄膜，可能需要调整测量参数或采用不同的测量模式。Sensofar S neox 光学轮廓仪的多模式设计使其能够适应不同特性的样品，为用户提供更可靠的测量结果。

总的来说，白光干涉光学轮廓仪通过精密的硬件设计和*的数据处理算法，提供了较高的测量精度。其低噪声、多模式和环境适应性等特点，使其能够满足多种应用场景对表面形貌测量的精度要求。Sensofar白光干涉光学轮廓仪的测量精度