Sensofar白光干涉光学轮廓仪的行业案例

Sensofar白光干涉光学轮廓仪的行业案例 白光干涉光学轮廓仪在多个行业中都有应用案例，展示了其表面形貌测量能力。Sensofar S neox 光学轮廓仪作为一款集成了白光干涉等多种测量技术的仪器，在半导体、光学制造、材料研究和生物医疗等领域都有实际应用。

在半导体行业，白光干涉光学轮廓仪被用于测量晶圆表面的平面度、粗糙度和电路图形结构。例如，在化学机械抛光（CMP）工艺后，仪器可以检测碟形凹陷、腐蚀等缺陷的程度。其非接触式测量方式避免了对晶片表面的损伤，同时纳米级的测量精度满足了行业对表面质量的高要求。

在光学制造领域，白光干涉光学轮廓仪可以测量透镜、棱镜等光学元件的表面平面度和粗糙度。Sensofar S neox 光学轮廓仪的白光干涉模式适合超光滑表面的测量，能够提供亚纳米级的纵向分辨率。这有助于确保光学元件的性能符合设计标准。

在材料科学研究中，白光干涉光学轮廓仪被用于分析多种材料的表面特性。例如，在核燃料锆合金包壳管的人工标准伤测量中，共聚焦光学轮廓仪被用于获取损伤的三维形貌，并测量深度和宽度参数。与传统金相法相比，光学轮廓仪提供了更完整、更清晰的轮廓信息，减少了主观因素干扰。

在精密模具行业，白光干涉光学轮廓仪可以用于检测模具型腔的表面缺陷、注塑件缩痕深度等参数。Sensofar S neox 光学轮廓仪的大视野和快速测量特性，使其能够适应工业环境中的高效检测需求。

在生物医疗领域，白光干涉光学轮廓仪可以用于分析人工关节表面涂层厚度、微流控芯片沟道截面轮廓等。仪器的非接触式测量方式避免了对生物样品的污染或损伤，保证了测量结果的真实性。

南京市计量监督检测院于2021年11月采购了Sensofar S neox 光学轮廓仪，用于其计量检测工作。这个案例表明白光干涉光学轮廓仪在计量检测机构中也有应用，用于提供可追溯的测量结果。

这些行业案例表明，白光干涉光学轮廓仪具有较好的适用性，能够满足不同行业对表面形貌测量的多样化需求。其高精度、非接触和快速测量的特点，使其在工业检测和科学研究中都能发挥其作用。Sensofar白光干涉光学轮廓仪的行业案例