Sensofar白光干涉光学轮廓仪的测量模式

Sensofar白光干涉光学轮廓仪的测量模式白光干涉光学轮廓仪通常配备多种测量模式，以适应不同表面特性的样品。Sensofar S neox 光学轮廓仪将共聚焦、白光干涉和相位差干涉等多种技术集成于一体，用户可以通过软件一键切换，无需更换硬件组件。

白光干涉模式适用于光滑表面和具有高深宽比结构的测量。在这种模式下，仪器通过垂直扫描捕获干涉条纹，利用干涉信号的对比度变化来计算表面高度信息。白光干涉模式能够提供亚纳米级的纵向分辨率，适合测量超光滑表面的平面度和粗糙度。

共聚焦模式则更适合测量倾斜角较大的漫反射表面或粗糙表面。该模式利用激光的共聚焦原理，通过逐点扫描的方式获取表面形貌数据。共聚焦模式具有较高的横向分辨率，能够测量近乎垂直的斜坡面形貌，这对于某些工业应用来说非常有用。

相位差干涉模式是另一种常用的测量方式，它通过分析干涉信号的相位信息来提取表面高度数据。这种模式适用于测量表面高度变化较小的样品，能够提供较高的纵向分辨率。相位差干涉模式通常与白光干涉模式结合使用，以扩展仪器的测量范围。

Sensofar S neox 光学轮廓仪还引入了融合共聚焦扫描模式，将共聚焦和多焦面叠加两种技术的优势结合起来。这种模式能够测量最大86度的斜坡，同时保持纳米级的纵向精度，为复杂表面的测量提供了更多可能性。

此外，仪器还配备了智能噪音检测功能，能够识别并消除测量过程中的不可靠数据像素，提高图像质量。与传统的空间平均技术相比，这种逐像素处理的方法可以在不损失横向分辨率的情况下减少噪点。

用户可以根据样品的表面特性选择最合适的测量模式。例如，对于半导体晶片等光滑表面，白光干涉模式可能更合适；而对于模具表面等粗糙样品，共聚焦模式可能更能满足测量需求。Sensofar S neox 光学轮廓仪的多模式设计使其能够适应从粗糙到超光滑的各种表面测量任务。

总之，白光干涉光学轮廓仪通过提供多种测量模式，为用户提供了灵活的表面形貌测量解决方案。这种多功能性使其能够应对不同行业的多样化需求，从实验室研究到工业生产线都能发挥其作用。Sensofar白光干涉光学轮廓仪的测量模式