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Sensofar白光干涉光学轮廓仪的工作原理 白光干涉光学轮廓仪是一种基于白光干涉原理的非接触式表面形貌测量仪器。它通过分析光线在参考镜和样品表面反射后形成的干涉条纹来重建样品表面的三维形貌。这种技术能够提供表面高度信息，适用于从纳米级到毫米级的表面特征测量。
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Sensofar白光干涉光学轮廓仪的工作原理 白光干涉光学轮廓仪是一种基于白光干涉原理的非接触式表面形貌测量仪器。它通过分析光线在参考镜和样品表面反射后形成的干涉条纹来重建样品表面的三维形貌。这种技术能够提供表面高度信息，适用于从纳米级到毫米级的表面特征测量。
在工作时，仪器光源发出的白光经过分光镜分为两束：一束照射到参考镜，另一束照射到样品表面。两束光反射后重新汇合，由于光程差的存在，会形成明暗相间的干涉条纹。当样品表面高度发生变化时，干涉条纹的对比度也会相应改变。仪器通过垂直方向扫描，捕获一系列干涉图像，然后利用算法分析每个像素点的干涉信号，最终计算出样品表面的三维形貌数据。
白光干涉光学轮廓仪的核心优势在于其能够实现非接触测量，避免了对样品表面的损伤。这对于测量柔软、易损或敏感材料的表面非常有用。此外，由于采用白光作为光源，这种技术适用于多种材料表面，包括透明、半透明和不透明材料。
Sensofar S neox 光学轮廓仪集成了白光干涉等多种测量技术，能够根据样品特性自动选择最合适的测量模式。其工作原理不仅考虑了表面高度变化，还结合了优良的算法处理，确保了测量数据的可靠性。这种仪器在半导体、光学加工和材料科学研究等领域有着广泛的应用。
与其他测量技术相比，白光干涉光学轮廓仪在测量光滑表面和具有高深宽比的结构时表现出较好的性能。它能够提供亚纳米级的纵向分辨率，适用于超光滑表面的平面度测量。此外，仪器的测量速度较快，能够在短时间内完成大面积样品的扫描，提高了检测效率。
总的来说，白光干涉光学轮廓仪通过结合光学干涉原理和现代数字图像处理技术，为表面形貌测量提供了一种有效的解决方案。其非接触、高精度和快速测量的特点，使其成为工业检测和科学研究中常用的工具之一。Sensofar白光干涉光学轮廓仪的工作原理