一文读懂Sensofar：多技术融合测量逻辑

产品简介

一文读懂Sensofar：多技术融合测量逻辑
Sensofar S neox 作为新型 3D 共聚焦白光干涉光学轮廓仪，核心优势在于多测量技术的集成设计。

产品型号：S neox

更新时间：2025-10-23

厂商性质：代理商

访问量：82

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一文读懂Sensofar：多技术融合测量逻辑

Sensofar S neox 作为新型 3D 共聚焦白光干涉光学轮廓仪，核心优势在于多测量技术的集成设计。其传感器头内整合了共聚焦、白光干涉、相位移干涉及 Ai 多焦面叠加技术，无需手动切换，系统可依据任务自动匹配适配技术。

产品细节上，设备采用模块化结构，光学模块、样品台与控制模块可独立拆卸，机身尺寸 600mm×500mm×750mm，重量 70kg，适配多数实验室空间。光学系统防护等级达 IP54，能抵御常见粉尘与少量溅水，镜头接口兼容 2.5x 至 100x 标准物镜，还可适配长工作距离、偏光等特种物镜。

性能方面，纵向分辨率在白光干涉模式下达 0.1nm，相位移干涉模式下进一步优化至 0.05nm，横向分辨率 0.12μm，单次扫描深度可达 8mm，支持 86° 斜率表面测量。搭配实时环境补偿算法，在振动幅度超 100nm 的环境中仍能稳定工作。

用材上，核心光学部件选用高纯度熔融石英玻璃，透光率超 92%，镜头采用氧化硅与氟化镁复合增透膜，反射率≤0.5%。样品台底座为高强度铸铁，台面采用 304 不锈钢，经精密研磨后平整度误≤2μm。

核心参数简表

用途覆盖半导体晶圆检测、光学镜片形貌分析等场景。使用时先通过 SensoSCAN 软件预览定位，再选择对应测量模式，新手可直接采用默认参数。

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