Sensofar 光学轮廓仪：理解数据背后的意义

产品简介

Sensofar 光学轮廓仪：理解数据背后的意义
S neox 的各项参数不仅是设备性能的体现，更与实际测量需求紧密相关，理解参数含义能帮助用户更好地选择测量模式与设置参数。

产品型号：S neox

更新时间：2025-10-23

厂商性质：代理商

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Sensofar 光学轮廓仪：理解数据背后的意义

S neox 的各项参数不仅是设备性能的体现，更与实际测量需求紧密相关，理解参数含义能帮助用户更好地选择测量模式与设置参数。横向分辨率作为关键参数之一，在 100x 物镜下为 0.12μm，该参数代表设备能分辨的样品表面最小横向特征尺寸，例如在检测半导体芯片线路时，0.12μm 的横向分辨率可清晰呈现线宽为 0.2μm 的线路结构，满足精细线路的检测需求；若选用 2.5x 物镜，横向分辨率为 4.8μm，适合大尺寸样品的快速扫描与宏观轮廓观察。

纵向分辨率 0.1nm（白光干涉模式）代表设备对样品表面高度变化的最小探测能力，该参数在超光滑表面测量中尤为重要，如测量光学镜片的面型误差时，0.1nm 的纵向分辨率可捕捉纳米级的面型起伏，为镜片加工精度评估提供精准数据；而在粗糙表面测量中，可适当降低纵向分辨率要求，通过提升扫描速度提高检测效率。

Sensofar 光学轮廓仪：理解数据背后的意义

扫描深度参数（单次最大 8mm，多焦面叠加模式）决定了设备可测量的样品表面高度范围，对于表面起伏较大的样品，如模具型腔、增材制造零件，8mm 的扫描深度能完整覆盖样品表面的高度变化，无需分区域多次扫描，减少拼接误差；若样品表面较为平整，如半导体晶圆，可选择较小的扫描深度，缩短测量时间。传感器帧率 180 帧 / 秒代表设备每秒采集图像的数量，高帧率适合动态过程监测，如观察液体蒸发过程中样品表面的形貌变化，能捕捉到快速变化的细节；在静态样品测量中，可降低帧率以减少数据量，提升数据处理速度。

Sensofar 光学轮廓仪：理解数据背后的意义

上一个：S neoxSensofar 光学轮廓仪：应对复杂测量需求