ZYGOZeGage Pro 结构与参数：可靠测量保障

产品简介

ZYGOZeGage Pro 结构与参数：可靠测量保障
ZeGage Pro 采用紧凑型台式设计，机身尺寸约 550mm×480mm×700mm，重量约 65kg，无需专用安装空间，普通实验室操作台即可放置，节省场地资源。机身外壳选用高强度冷轧钢板，表面经过静电喷塑处理，具有良好的抗腐蚀、抗划伤性能，长期使用仍能保持外观整洁，同时有效隔绝外部环境对内部光学系统的干扰。

产品型号：

更新时间：2025-10-23

厂商性质：代理商

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ZYGOZeGage Pro 结构与参数：可靠测量保障

ZeGage Pro 采用紧凑型台式设计，机身尺寸约 550mm×480mm×700mm，重量约 65kg，无需专用安装空间，普通实验室操作台即可放置，节省场地资源。机身外壳选用高强度冷轧钢板，表面经过静电喷塑处理，具有良好的抗腐蚀、抗划伤性能，长期使用仍能保持外观整洁，同时有效隔绝外部环境对内部光学系统的干扰。

ZYGOZeGage Pro 结构与参数：可靠测量保障

核心光学系统密封在独立的防尘舱内，舱体采用密封胶条密封，防止灰尘、水汽进入，保障光学元件清洁，避免因污染影响成像质量。镜头接口采用标准化设计，兼容 8 种常用倍率物镜，更换物镜时只需轻轻旋转即可装卸，无需复杂的校准步骤，软件会自动识别物镜型号并匹配相应参数，减少操作时间。样品台是设备的关键结构之一，采用精密滚珠导轨，导轨表面覆盖耐磨涂层，确保长期移动后仍能保持精度。样品台 X 轴、Y 轴移动范围均为 80mm，Z 轴移动范围为 40mm，搭配高精度光栅尺，移动精度可达 0.05μm，能精准定位样品测量位置。

以下为 ZeGage Pro 核心参数表：

参数类别	具体参数
测量技术	相移干涉、动态干涉、共聚焦成像
横向分辨率	0.15μm（20x 物镜）
纵向分辨率	0.1nm（相移干涉模式）
扫描范围	X/Y 轴：80mm×80mm，Z 轴：40mm
样品台承重	15kg
样品台移动精度	0.05μm（XYZ 轴）
传感器帧率	120 帧 / 秒