奥林巴斯显微镜：工业检测的多面手

产品概述

奥林巴斯STM7测量显微镜是专为工业检测与质量控制设计的多功能光学测量设备。其核心优势在于将高分辨率成像与三轴精密测量功能深度整合，可满足从电子元件到精密机械零件的多样化检测需求。该系列包含STM7-SF、STM7-MF、STM7-LF等型号，支持手动与电动调焦两种模式，载物台尺寸覆盖50mm×50mm至300mm×300mm，适配不同规模样品的检测场景。

核心性能与用材

1. 光学系统
   STM7采用UIS2无限远校正光学系统，通过消除像差实现高对比度成像。明场、暗场、微分干涉、偏光四种观察模式可自由切换，例如在检测金属表面划痕时，微分干涉模式可清晰呈现0.1μm级的微小缺陷。

2. 机械结构
   镜架基座采用花岗岩材质，其热膨胀系数仅为钢材的1/50，可有效抵御环境温度波动对测量精度的影响。实测数据显示，在20℃±1℃恒温环境下，Z轴重复测量误差，满足半导体晶圆厚度检测的严苛要求。

3. 测量系统
   标配0.1μm分辨率的线性标尺，支持XY平面与Z轴同步测量。以STM7-LF型号为例，其300mm×300mm载物台可实现大型印刷电路板的整体测量，避免传统设备需多次定位拼接导致的误差累积。

型号参数对比

使用说明

1. 样品准备
   清洁载物台表面，使用真空吸附台固定薄型样品（如晶圆），厚型样品（如金属块）可直接放置并调整水平。

2. 调焦操作
   通过离合器系统快速切换粗调（10mm/转）与微调（0.01mm/转）模式。在检测0.5mm高度的微机电系统（MEMS）器件时，建议先使用5×物镜粗定位，再切换至100×物镜进行微调。

3. 数据采集
   连接OLS50-S-MSP电动载物台套件，可实现多区域自动拼接测量。例如在检测12英寸晶圆表面颗粒时，软件可规划20×20mm的测量网格，单次采集覆盖全片数据。

应用案例

某汽车零部件厂商使用奥林巴斯STM7测量显微镜STM7-MF检测发动机喷油嘴孔径，通过暗场模式清晰识别0.02mm的毛刺缺陷，测量效率较传统投影仪提升3倍，年节约质检成本超50万元。