泽攸集成化的台阶测量方案

产品简介

泽攸集成化的台阶测量方案
泽攸台阶仪凭借灵活的配置，可适应多样化的测量需求。其采用模块化设计，传感器与工作台均可根据样品特性更换，提升设备的适用范围。

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更新时间：2025-10-21

厂商性质：代理商

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泽攸 ST800 台阶仪集成了接触式与非接触式测量功能，通过智能化控制系统，为复杂样品的测量提供全面解决方案。泽攸集成化的台阶测量方案

接触式测量范围 0 - 800μm，垂直分辨率 0.05nm；非接触式光学传感器采用白光干涉原理，测量范围 0 - 100μm，垂直分辨率 0.1nm，两种模式可无缝切换，兼顾深台阶与精细表面的测量需求。

设备工作台采用气浮设计，运动平稳无摩擦，X/Y 行程 200mm，定位精度 5μm，支持自动样品定位与多点测量。软件具备图像拼接功能，可将多个测量区域的形貌图拼接成完整的样品表面形貌，便于整体分析。

用材上，关键部件如导轨、丝杠等选用进口高精度产品，确保设备的长期稳定性。使用说明中详细介绍了自动测量流程：通过相机定位样品特征，软件规划测量路径，自动完成多个点的测量并生成综合报告。适用于精密仪器制造中的表面质量检测、高校科研中的材料表征等场景，为用户提供高效、全面的测量支持。泽攸集成化的台阶测量方案

使用时，将样品固定在工作台上，调整触针位置使其轻触样品表面，设置扫描速度（0.1 - 1mm/s）和扫描长度后启动测量。适用于薄膜厚度检测、涂层台阶分析等场景，如半导体晶圆的镀膜厚度测量，为生产质量控制提供数据支持。

上一个：泽攸深度测量的可靠选择