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产品简介
Sensofar轮廓仪高精度表面测量解决方案Sensofar三维共聚焦白光干涉仪是一款集成了共聚焦、干涉和多焦面叠加技术的高精度表面测量设备。
产品分类
Sensofar三维共聚焦白光干涉仪是一款集成了共聚焦、干涉和多焦面叠加技术的高精度表面测量设备。该设备采用非接触式测量方式，适用于多种材料表面的三维形貌分析，广泛应用于半导体、光学元件、精密加工、生物医学等领域的表面质量控制。Sensofar轮廓仪高精度表面测量解决方案
设备具备高分辨率和高精度，能够实现纳米级表面粗糙度的测量，满足ISO 25178标准的测量要求。其共聚焦技术提供高横向分辨率，可达0.10μm，适用于临界尺寸的测量。干涉技术则提供纳米级精度的表面高度测量，适用于光滑表面的精细测量。多焦面叠加技术则适用于粗糙表面的测量，最大斜率可达86°，适用于工件和模具的测量。
设备支持多种放大倍率和视场选择，适用于不同尺寸和形状的样品测量。其非接触式测量技术避免了对样品的损伤，适用于多种材料表面的测量。设备配备高分辨率传感器和自动聚焦功能，操作简便，适合快速测量和数据分析。Sensofar轮廓仪高精度表面测量解决方案
Sensofar三维共聚焦白光干涉仪是一款集共聚焦、干涉和多焦面叠加技术于一体的高精度表面测量设备。其核心优势在于非接触式测量，适用于多种材料表面的三维形貌分析。设备具备高分辨率和高精度，适用于半导体、精密光学、生物医学等领域的表面测量。
设备采用共聚焦技术，具备高横向分辨率，可达0.10μm，适用于临界尺寸测量。干涉技术则提供纳米级精度的表面高度测量，适用于光滑表面的精细测量。多焦面叠加技术则适用于粗糙表面的测量，最大斜率可达86°，适用于工件和模具的测量。
设备支持多种放大倍率和视场选择，适用于不同尺寸和形状的样品测量。其非接触式测量技术避免了对样品的损伤，适用于多种材料表面的测量。设备配备高分辨率传感器和自动聚焦功能，操作简便，适合快速测量和数据分析。