HP1000V-MPS 真空高温探针台 INSTEC冷热台

产品简介

HP1000V-MPS 真空高温探针台 INSTEC冷热台系列是可从外部移动探针进行点针的桌上型探针台，涵盖多型号、多温度范围。同时允许温控、探针电测试、光学观察和样品气体环境控制。探针台上盖与底壳构成一个可抽真空的密封腔，亦可内充入氮气等保护气体，来防止样品在负温下结霜，或高温下氧化。

产品型号：

更新时间：2025-10-21

厂商性质：代理商

访问量：384

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产品分类

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冷热台

美国INSTEC冷热台英国林肯Linkam冷热台

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HP1000V-MPS 真空高温探针台 INSTEC冷热台系列是可从外部移动探针进行点针的桌上型探针台，涵盖多型号、多温度范围。同时允许温控、探针电测试、光学观察和样品气体环境控制。探针台上盖与底壳构成一个可抽真空的密封腔，亦可内充入氮气等保护气体，来防止样品在负温下结霜，或高温下氧化。

功能特点

mimi 型温控探针台，可集成到各种光学设备

可编程控温，涵盖 RT~1000℃

适用 10 mm ~25 mm 晶圆和器件

可抽真空的腔体，亦可充入保护气体使用

独立的四个探针，可从设备外部移动探针进行点针

可从温控器或电脑软件控制，可提供软件 SDK

模块化设计，可自由组合

*可升级为 8 个独立探针

*SMA 接头转 BNC 四探针，手动点针 *可选三同轴接口，用于 pA 级测试

*可做定制或改动，详询上海恒商

温控参数

温度范围 30℃~1000℃

加热块材质陶瓷

传感器/温控方式 S / PID 控制（含 LVDC 降噪电源）

最大升温速率 50℃/min

最小温控速度 ±0.1℃/min

温度分辨率 0.1℃

温度稳定性 ±0.5℃

软件功能可设温控速率，可设温控程序，可记录温控曲线

电学参数

探针默认为铼钨材质的弯针探针

探针座可从外部 XYZ 移动的探针臂

点针从外部移动点针，每个探针座都可点到样品区上任意位置

探针接口默认为 SMA 接头转 BNC *可增设腔内接线柱（样品接电引线）

样品台面电位默认为电接地，可选电悬空（作背电极），可选三同轴接口

光学参数

适用光路反射光路

窗片可拆卸与更替的窗片

最小物镜工作距离 8/12 mm （可选） *截面图中 WD

上盖窗片观察窗片范围φ45mm，最大视角±58° *截面图中θ1

负温下窗片除霜吹气除霜管路

结构参数

适用样品 25 mm*25mm

样品腔高 4/8 mm （可选）

探针座可从外部 XYZ 移动的探针臂粗调模式+微调模式，XY 粗调 20mm XY 微调行程 10mm,Z 微调 3mm

调节精度 10um

气氛控制真空腔，也可充入保护气体

外壳冷却可通循环水，以维持外壳温度在常温附近

台体尺寸/重量 300 mm x 300 mm x 40 mm / 5kg

配置列表

基本配置真空型台式探针台、mK2000B 温控器

可选配件安装支架、液氮制冷系统、外壳循环水冷系统、显微镜头、防震桌、真空系统、测试源表、三同轴 BNC、台面电悬空、样品接电引线

以上是HP1000V-MPS 真空高温探针台 INSTEC冷热台的详细介绍

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